常用的接觸式測量半導體材料電阻率的方法主要有這幾種：

兩探針法；三探針法；四探針法；單探針擴展電阻法；范德堡法。

兩探針法。這種方法適用于長條形或棒狀試樣，通過測量電壓和電流來計算電阻率。其原理簡單，操作方便，但受限于樣品形狀和尺寸。

三探針法，它適用于測量相同導電類型、低阻襯底的外延層材料。利用金屬探針與半導體接觸處的反向電流和電壓特性，可以準確測定材料電阻率。這種方法在研究外延層特性時尤為重要。

四探針法是另一種常用的測量方法，特別適用于樣品沿徑向分布的斷面電阻率。通過在樣品表面放置四根探針，測量電壓來計算電阻率。這種方法在半導體材料表征和器件制造中有著廣泛的應用。

單探針擴展電阻法是一種適用于測量體材料的微區均勻性及外延材料、多層結構或擴展層等材料的電阻率或電阻率分布的方法。它通過單個探針與樣品接觸，通過改變探針位置來獲得不同位置的電阻率信息。

范德堡法，適用于厚度均勻、無孤立孔洞的片狀樣品。通過在樣品邊緣取四個接觸點來測量電阻率。這種方法在測量薄片材料的電阻率時非常有效。

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